中环真空泵厂

    1.真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求，如：真空镀膜要求1×10-5mmHg，通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数目级。

    2.正确地选择真空泵的工作点，每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3～10-7 mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4～×5-10-6 mmHg，因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8 mmHg下长期工作，又如钛货泵可以在10-2 mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5 mmHg为好。

    3.真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

    4.正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求，如钛升货泵对氢有很高的抽速，但不能抽拟，而三极型溅射离子泵，（或二级型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度，另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空，有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

    5.真空设备对油污染的要求，若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。假如要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

    6.了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，要求知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵，假如气体中含有蒸气、颗粒及腐蚀性气体，应该考虑在泵的时气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

   7.真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何，假如环境不答应有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

   8.真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响，若工艺过程不答应，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

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